扫描电子显微镜(SEM)是一种介于
透射电子显微镜和
光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能
电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在
岩土、
石墨、
陶瓷及
纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于<a href="./?mention=透射电子显微镜">透射电子显微镜</a>和<a href="./?mention=光学显微镜">光学显微镜</a>之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能<a href="./?mention=电子束">电子束</a>来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在<a href="./?mention=岩土">岩土</a>、<a href="./?mention=石墨">石墨</a>、<a href="./?mention=陶瓷">陶瓷</a>及<a href="./?mention=纳米材料">纳米材料</a>等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。