清华大学精密仪器系（Department of precision instrument, Tsinghua University）隶属<a href="./?mention=清华大学机械工程学院">清华大学机械工程学院</a>。<br/>清华大学精密仪器系始建立于1932年，其前身为成立于1932年的清华大学工学院机械系，20世纪50年代院系调整为清华大学机械制造系，20世纪60年代初又调整为精密仪器与机械系，20世纪80年代更名为精密仪器与机械学系，2013年学科调整重组，成立新的精密仪器系。<br/>据2020年8月清华大学精密仪器系官网显示，精密仪器系开设1个本科专业；设有2个博士后流动站，2个一级学科，均有硕士、博士授予权，专业硕士学位授权点3个，并招收工程博士；有教职工96人，其中中国工程院院士2人，在职教授23人，副教授48人。