氧化物半导体（oxide semiconductor）具有<a href="./?mention=半导体">半导体</a>特性的一类<a href="./?mention=氧化物">氧化物</a>。氧化物半导体的<a href="./?mention=电学">电学</a>性质与<a href="./?mention=环境">环境</a>气氛有关。<a href="./?mention=导电率">导电率</a>随氧化气氛而增加称为氧化型半导体，是<a href="./?mention=p型半导体">p型半导体</a>；<a href="./?mention=电导率">电导率</a>随还原气氛而增加称为还原型半导体，是<a href="./?mention=n型半导体">n型半导体</a>；导电类型随气氛中<a href="./?mention=氧分压">氧分压</a>的大小而成p型或n型半导体称为两性半导体。非单晶氧化物可用纯<a href="./?mention=金属">金属</a>高温下直接<a href="./?mention=氧化">氧化</a>或通过低温<a href="./?mention=化学反应">化学反应</a>(如金属氯化物与水的<a href="./?mention=复分解反应">复分解反应</a>)来制备。氧化物<a href="./?mention=单晶">单晶</a>的制备有<a href="./?mention=焰熔法">焰熔法</a>、<a href="./?mention=熔体生长法">熔体生长法</a>和气相反应生长法。氧化物半导体ZnO、CdO、SnO2等常用于制造<a href="./?mention=气敏元件">气敏元件</a>，Fe2O3、Cr2O3、Al2O3等常用于制造<a href="./?mention=湿敏元件">湿敏元件</a>；SnO2膜用于制做透明电极等。