辉光放电（glow discharge）是指<a href="./?mention=低压气体">低压气体</a>中显示<a href="./?mention=辉光">辉光</a>的<a href="./?mention=气体放电">气体放电</a>现象，即是稀薄气体中的自持放电（<a href="./?mention=自激">自激</a><a href="./?mention=导电">导电</a>）现象。由<a href="./?mention=法拉第">法拉第</a>第一个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于氖稳压管、<a href="./?mention=氦氖激光器">氦氖激光器</a>等器件的制造。