透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope，简称TEM)，可以看到在光学<a href="./?mention=显微镜">显微镜</a>下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择<a href="./?mention=波长">波长</a>更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的<a href="./?mention=电压">电压</a>平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。TEM的分辨力可达0.2nm。